Technologie
Durch Beschichtung (z. B. Aufschleudern) und Belichtung durch eine Maske mit nachfolgendem Entwicklungsprozess können Wellenleiterbauelemente direkt in UV-härtbare Polymere geschrieben werden.
Favorisierte Materialien sind dabei anorganisch-organische Hybrid-Polymere, synthetisiert am Fraunhofer ISC Würzburg.
- Die Herstellung ist einfach und wird ausschließlich mit Geräten und Prozessschritten der Photolithographie realisiert, typisch auf 4" Wafergröße
- Single-mode und multi-mode
- Brechzahlvariation durch Co-Polymerisation
- Sehr gute Planarisierungseigenschaften
- Stapeln von Wellenleiterschichten ist möglich
- Thermooptische Bauelemente
- Geringe Verluste bei Wellenlängen von 1,3 µm und 1,55 µm
Beispiele
- Passive Bauelemente wie 1 X N und N X M Verteiler in verschiedenen Konfigurationen
- Wellenleiterarrays für Grundlagenuntersuchungen
- 3-D-Wellenleiter fan-out Element als optischer HF-Summierer
- Biosensoren auf Basis Oberflächenplasmonanregung in Multimode-Streifenwellenleitern
- Integration von Wellenleiterstrukturen mit Mikrooptik
- Thermooptische Schalter mit geringem Übersprechen
Leistungsangebot
- Maskenlayout und Herstellung entsprechend dem Design, angepasst an die technologischen Erfordernisse
- Herstellung von Bauelementen
- Entwicklung von Prozessen und Technologietransfer
- Charakterisierung und prozessbegleitende Messungen
- Materialauswahl und Materialcharakterisierung
- Untersuchungen zur Stabilität der optischen Eigenschaften für spezielle Einsatzgebiete