Maskenbasierte Polymerwellenleiter-Bauelemente

Technologie

Durch Beschichtung (z. B. Aufschleudern) und Belichtung durch eine Maske mit nachfolgendem Entwicklungsprozess können Wellenleiterbauelemente direkt in UV-härtbare Polymere geschrieben werden.

Favorisierte Materialien sind dabei anorganisch-organische Hybrid-Polymere, synthetisiert am Fraunhofer ISC Würzburg.

  • Die Herstellung ist einfach und wird ausschließlich mit Geräten und Prozessschritten der Photolithographie realisiert, typisch auf 4" Wafergröße
  • Single-mode und multi-mode
  • Brechzahlvariation durch Co-Polymerisation
  • Sehr gute Planarisierungseigenschaften
  • Stapeln von Wellenleiterschichten ist möglich
  • Thermooptische Bauelemente
  • Geringe Verluste bei Wellenlängen von 1,3 µm und 1,55 µm

 

Beispiele

  • Passive Bauelemente wie 1 X N und N X M Verteiler in verschiedenen Konfigurationen
  • Wellenleiterarrays für Grundlagenuntersuchungen
  • 3-D-Wellenleiter fan-out Element als optischer HF-Summierer
  • Biosensoren auf Basis Oberflächenplasmonanregung in Multimode-Streifenwellenleitern
  • Integration von Wellenleiterstrukturen mit Mikrooptik
  • Thermooptische Schalter mit geringem Übersprechen

 

Leistungsangebot

  • Maskenlayout und Herstellung entsprechend dem Design, angepasst an die technologischen Erfordernisse
  • Herstellung von Bauelementen
  • Entwicklung von Prozessen und Technologietransfer
  • Charakterisierung und prozessbegleitende Messungen
  • Materialauswahl und Materialcharakterisierung
  • Untersuchungen zur Stabilität der optischen Eigenschaften für spezielle Einsatzgebiete