Kernstück für die »FLuorescence Explorer-Mission« (FLEX) der ESA wird das »Fluorescence Imaging Spectrometer« (FLORIS) sein. Für das Spektrometer fertigte das IOF eine Baugruppe, deren Anforderungen sich an der Grenze des technisch Machbaren bewegten. Realisiert wurde ein hochpräziser Doppelspalt mit Schlitzbreiten von exakt 85 (±1) Mikrometern über eine Länge von 44,15 Millimetern. Beide Schlitze sind hochparallel zueinander montiert und verfügen über eine Spalt-Planarität von weniger als 10 Mikrometern. Für die Spiegel, die im Inneren des Spektrometers das Licht auf den Detektor leiten sollen, wurde eine Rauheitsanforderung von 0,3 Nanometern RMS (Root Mean Square) erfüllt.
Hergestellt wurde der Doppelspalt auf Silizium-Basis. Für die Fertigung wurde am Fraunhofer IOF eine spezielle lithografische Prozesskette entwickelt, bei der lithografische Strukturierungstechniken für das Ätzen von Silizium-Wafern angepasst wurden. Abschließend wurden die Schlitze mit einer schwarzen Beschichtung versehen, um das spezifizierte optische Reflexionsvermögen und die optische Dichte zu erreichen.
Die Vorrichtung ist so konzipiert, dass der Silizium-Doppelspalt in einer mechanischen Halterung montiert wird, mit der die Baugruppe so robust ist, um die harschen Bedingungen beim Start des FLEX-Satelliten unbeschädigt zu überstehen. Um dies zu realisieren, wurde ein spezielles Montagekonzept aus einer Kombination von Formschluss, Klemmung und Klebung entwickelt.
