Optisches Monitoring

Motivation

Mithilfe des am Fraunhofer IOF neuentwickelten online-Spektrometers »OptiMon« wird das Transmissionsspektrum einer wachsenden Schicht fortlaufend erfasst. Auf Basis der gemessenen Transmissionsspektren ermittelt eine Software die tatsächlich erreichten Konstruktionsparameter des Schichtsystems und vergleicht diese permanent mit den Sollwerten.

 

Verfahren

Zur Untersuchung der optischen Eigenschaften kommt Spektralphotometrie (Messungen von gerichteter und diffuser Transmission und Reflexion) zum Einsatz, für ortsaufgelöste Untersuchungen steht ein Mikroskopphotometer zur Verfügung.

 

Parameter der Detektoren für die transmissive Messung (OptiMon) und die Plasmaemissionsmessung (PlasmaMonitor)

  OptiMon PlasmaMonitor
spectral range 360 - 920 nm 200 - 850 nm
slit 140 µm 50 µm
optical resolution ca. 5 nm ca. 2 nm
typical integration time 4 ms 4 ms