Für hochreflektierende Schichtsysteme bei Wellenlängen unterhalb von 200 nm stellen dielektrisch verstärkte Aluminiumspiegel eine elegante Lösung dar. Das erreichbare Reflexionsvermögen wird durch die Qualität der aufgebrachten Metallschicht und deren Schutz vor Oxidation bestimmt. Als Schutzschicht kommen aufgrund der geringen intrinsischen Absorption insbesondere Magnesiumfluorid (Kantenlage ca. 116 nm) und Lithiumfluorid (Kantenlage ca. 104 nm) in Frage. In einem optimierten Aufdampfprozess an der Syrus Pro 1100 Beschichtungsanlage wird durch Verwendung beider Fluoride ein Reflexionsvermögen von nahe 60 % bei 115 nm erreicht.
Im Rahmen neuerer Projekte wurden erste Reflektoren mit weiter optimiertem Design realisiert. Das gemessene Reflexionsvermögen bei nahezu senkrechtem Lichteinfall betrug ca. 73 % bei 115 nm.