Bearbeitungstechnologie für spröde Materialien

Ziel

Das Fraunhofer IOF bearbeitet kleine Strukturen in Glas, Keramik, Silizium, Verbundwerkstoffen, Hartmetallen mit CNC-Technologie.

 

Technologie

  • Ultraschallunterstütztes Schleifen mit beschichteten Spezialwerkzeugen
  • 5-Achsen Simultan Universal Bearbeitungszentrum

 

Technische Daten

  • Spindeldrehzahl: 0 - 42.000 U/min
  • Maximale Werkstückabmessung: 350 mm x 240 mm x 340 mm
  • Minimaler Werkzeugdurchmesser: 0,4 mm
  • Bearbeitungstoleranzen: < 10 μm
  • Steuerung: Siemens 840D

 

Anwendungen

Herstellung von Bohrungen und beliebiger Fräskonturen bis hin zu Freiformflächen in spröden Materialien:

  • Quarzglas, BK7, Borofloatglas
  • Ceran, Zerodur
  • Aluminiumoxid
  • Sinterkeramik
  • Zirkonoxid
  • Silizium

 

Bearbeitungsbeispiele

  • Kühlstrukturen in Siliziumwafer
  • Dosierspiralen in Glaswerkstoffe
  • Trägerbauteile aus Glaswerkstoffen
  • Anschlagflächen an Optikbauteile
  • Öffnungsbohrungen in Optikbauteile
  • Bohrungen in Mehrlagenkeramik
  • Freiformflächen in Glas