Durch die entwickelte Technologie der Freiformbearbeitung von Mikrooptiken auf gekrümmten Oberflächen gelingt es der Ultrapräzisionsbearbeitung, an den Grenzbereich verschiedener lithographischer Verfahren zum Strukturieren dreidimensionaler Mikrooptiken anzuschließen.
Herstellung von
- 3D-mikrooptischen Strukturen in optischer Qualität
- Geometrien, die mit lithographischen Verfahren, wie z. B. der Photo-, Grauton- oder Laserlithographie schwer oder nicht strukturierbar sind
- Freiformgeometrien
Technologie
- Spanabhebendes Verfahren mit kleinen Diamantwerkzeugen
Verfahren
- Fertigung eines Linsenarrays als Formeinsatz eines Spritzgießwerkzeugs, dessen abgeformtes Kunststofflinsenarray als 3D-mikrooptisches abbildendes Element zum Transfer einer ebenen Maske auf eine gekrümmte Substratoberfläche mittels eines Lithographieprozesses dient
- Anschließende Replikation durch Spritzgießen