Motivation
Die spanende Mikrobearbeitung ermöglicht die flexible NC-gesteuerte Herstellung von Miniaturbauteilen in einer großen Werkstoffpalette. Dabei werden die klassischen Fertigungsverfahren Fräsen, Bohren und Drehen sowie Mikrowerkzeuge aus Hartmetall und profilierte Diamantwerkzeuge genutzt. Auf der Grundlage der fertigungsgerechten Entwicklung miniaturisierter Baugruppen erfolgt die mechanische Fertigung und Feinstrukturierung von Kleinstteilen. Die spanende Fertigung erlaubt damit die schnelle Umsetzung einer Systemidee in einen Prototyp.
Kleinstteile für die Mikromontage
- Montageplattform, Magazine
- Greifer für Mikroprismen, Mikrolinsen, Fasern
- Justier- und Montagehilfen
- Formnester, Aufnahmen für Mikrolinsen und Fasern
Mikrostrukturen in maschinell bearbeitbarer Glaskeramik
- Mikrobohrungen, Bohrungsarrays (minimaler Durchmesser: 30 µm)
- Kanalstrukturen, Mikro-Nuten (minimale Kanalbreite: 100 µm)
- gratfrei, formstabil
- vakuumtauglich, Einsatztemperatur bis 800 °C
- Fertigungsbeispiel:
- Lochstrukturen zur Faserpositionierung
- Fluidsysteme
- Düsenbohrungen