Feinmechanische Komponenten und Systeme

Das Fraunhofer IOF entwickelt Präzisionssysteme der Feinwerktechnik und Mikrosystemtechnik. Schwerpunkte von Forschung und Entwicklung sind Konstruktion und Simulation, Herstellung und Montage sowie Charakterisierung und Erprobung von Baugruppen der Optik und Feinmechanik. Hierbei werden Elemente der technischen Optik und Mechanik, der Werkstoff- und Fügetechnik, der Messtechnik und der Softwareentwicklung eingesetzt. Am Institut stehen hoch moderne CAD-Systeme (ProEngineer) und FEM-Arbeitsplätze (ANSYS), ultrapräzise Diamantbearbeitungsmaschinen und Mikrobearbeitungszentren, optische und mechanische Mess- und Prüfgeräte, Equipment zum Kleben und Löten sowie Positionier- und Justierelemente zur Verfügung.

Die Arbeiten beinhalten grundlegende Analysen, moderne Technologieentwicklung, Aufbau und Erprobung von Demonstratoren und Prototypen bis zum Bau von Vorrichtungen und Sondermaschinen.

Das Fraunhofer IOF entwickelt und stellt komplexe mechanische Komponenten und Baugruppen und qualitativ hochwertiger Präzisionssysteme her.

 

Equipment für die Lithographie

Für die nächste Generation von Lithographietechniken, wie EUV und Multibeam Elektronenstrahltechnik, werden am Fraunhofer IOF feinmechanische und optische...
 

Entwicklung von Gaslagern und Führungen

Am Fraunhofer IOF werden Luftlager und Gasführungen für spezielle Anwendungsfälle entwickelt. Aerostatische und aerodynamische Komponenten...
 

Antriebs- und Bewegungssysteme

Hochgenaue Anwendungen in Lithographie und Messtechnik verlangen zunehmend eine präzise Positionierung von Substraten, wie Wafer oder Masken...

 

Abformwerkzeuge

Mit Hilfe der Diamantbearbeitung werden am Fraunhofer IOF ultrapräzise Abformwerkzeuge für die Kunststoff- und Glasreplikation hergestellt...
 

Sondermaschinenbau

High-End Optiken wie Fotoobjektive, Mikroskope oder Inspektionsoptiken weltweit bekannter Markenhersteller sind ein Inbegriff für Spitzenprodukte...

 

Leichtgewichtsspiegel

Metallbasierte Leichtgewichtsspiegel sind eine wesentliche Kernkompetenz des Fraunhofer IOF. Die Endfertigung zur optischen Qualität dieser gewichtsreduzierten...