Bei der Bestimmung mechanischer Eigenschaften funktionaler Oberflächen sind bei zahlreichen Anwendungen, insbesondere bei der Untersuchung von Schichtkomponenten sensitive Eindruck - und Scratchtestverfahren mit Tiefen < 100 nm notwendig, um die Schichteigenschaften von denen des Substrats trennen zu können.
Am Fraunhofer IOF wurden Verfahren für nanosensitive Untersuchungen zu Kratzfestigkeit, mechanischer Stabilität und Degradation etabliert. Die Verfahren basieren auf AFM-Nanoindentation-Techniken sowie eigens entwickelten Verfahren zur definierten Erzeugung und Vermessung von Kratzern und Eindrücken bis in den Mikronewton-Bereich.
Das Forschungsthema wird im Projekt VERDE, finanziert durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF), bearbeitet.