Mechanische Eigenschaften dünner optischer Schichten

Eine hohe Abriebbeständigkeit und niedrige Spannungen sind wesentliche Qualitätsmerkmale dünner Schichten. Zur Optimierung des Herstellungsprozesses ist eine umfassende Charakterisierung dieser Eigenschaften nötig.

 

Lösungen

  • Spannungsmessung an Einzelschichten auf Si-Wafern, Gläsern und dünnen Kunststoffsubstraten, auch in Abhängigkeit von der Temperatur mittels TENCOR® FLX2320
  • Test der Kratz- und Abriebfestigkeit mit folgenden Verfahren:
  • Chemo-mechanische Abriebprüfung ABREX® (u.a. DIN EN 60068-2-70 / IEC 68-2-70)
  • Radiergummitest nach ISO 9211 Teil 4
  • Scanning Scratch Test mit SST101 (Shimadzu)
  • Simulation von Spannungsfeldern und mechanischen Größen unter Anwendung der Software FilmDoctor® (SIO - Sächsisches Institut für Oberflächenmechanik)

 

Typische Anwendungen

  • Vergleichende Bewertung der Kratzfestigkeit von Substratoberflächen und Beschichtungen im Bereich Automobil, Brille und Feinoptik
  • Entwicklung und Erprobung geeigneter Testabläufe
  • Simulation und Strukturanalyse bei der Schichtentwicklung