Eine hohe Abriebbeständigkeit und niedrige Spannungen sind wesentliche Qualitätsmerkmale dünner Schichten. Zur Optimierung des Herstellungsprozesses ist eine umfassende Charakterisierung dieser Eigenschaften nötig.
Lösungen
- Spannungsmessung an Einzelschichten auf Si-Wafern, Gläsern und dünnen Kunststoffsubstraten, auch in Abhängigkeit von der Temperatur mittels TENCOR® FLX2320
- Test der Kratz- und Abriebfestigkeit mit folgenden Verfahren:
- Chemo-mechanische Abriebprüfung ABREX® (u.a. DIN EN 60068-2-70 / IEC 68-2-70)
- Radiergummitest nach ISO 9211 Teil 4
- Scanning Scratch Test mit SST101 (Shimadzu)
- Simulation von Spannungsfeldern und mechanischen Größen unter Anwendung der Software FilmDoctor® (SIO - Sächsisches Institut für Oberflächenmechanik)
Typische Anwendungen
- Vergleichende Bewertung der Kratzfestigkeit von Substratoberflächen und Beschichtungen im Bereich Automobil, Brille und Feinoptik
- Entwicklung und Erprobung geeigneter Testabläufe
- Simulation und Strukturanalyse bei der Schichtentwicklung