Motivation
Die Leistungsfähigkeit anspruchsvoller optischer Schichtsysteme wird in der Praxis durch Abweichungen in den Schichtdicken bzw. den optischen Konstanten der abgeschiedenen Schichten bestimmt. Die Abweichungen sind anlagen- und prozessspezifisch. Zur kostspieligen Fehlchargenvermeidung wird vor der eigentlichen Schichtpräparation die zu erwartende Gutausbeute unter Berücksichtigung der Spezifika der tatsächlich vorhandenen Abscheidetechnologie durch realistische Simulationsläufe (virtuelle Beschichtungen oder auch computational manufacturing) abgeschätzt.