Messtechnik zur Optikkomponentenprüfung

Laborausstattung, Messsysteme

Typ / Hersteller

Aufgabe (Messbereich/Auflösung/Genauigkeit)

Interferometer (µ-Phase)

Fisba

Oberflächenparameter

Interferometer

Zygo

Oberflächenparameter (Planflächen 6", Referenzplatte Lambda/30)

Interferometer

Zygo

Oberflächenparameter (Planflächen 12", Referenzplatte Lambda/30)