Laborausstattung, Messsysteme |
Typ / Hersteller |
Aufgabe (Messbereich/Auflösung/Genauigkeit) |
Interferometer (µ-Phase) |
Fisba |
Oberflächenparameter |
Interferometer |
Zygo |
Oberflächenparameter (Planflächen 6", Referenzplatte Lambda/30) |
Interferometer |
Zygo |
Oberflächenparameter (Planflächen 12", Referenzplatte Lambda/30) |