Laborausstattung, Messsysteme |
Typ / Hersteller |
Aufgabe (Messbereich/Auflösung/Genauigkeit) |
Vibrometer |
Polytec |
Schwingungsanalyse (Amplituden ca. 1 nm) |
opt. Mikrometer |
Keyence |
Dickenmessung »Schattenwurf« (Auflösung 0,1 µm) |
Universallängenmessgerät ULM |
Zeiss |
Längenmessung kontaktierend |
elektron. Autokollimatoren |
MöllerWedel |
Winkel (Winkelauflösung 0,1') |
CAPA NCDT |
MicroEpsilon |
kapazitive Sensoren zur Abstandsmessung (Auflösung der Sensoren Meßbereich 50 µm – 2 nm, 200 µm – 8 nm; Bestand: 8x Sensoren 200 µm, 5 Sensoren x 50 µm, 5 Sensoren 200 µm - vakuumtauglich, 2 Controller 1x-8 Kanal, 1x-5 Kanal) |