Am Fraunhofer IOF wurde eine neue Generation von laserbasierten Messsystemen entwickelt, in denen exklusive Funktionen wie
- Winkelaufgelöste Streulichtmessung (BRDF, ARS) gemäß ASTM E2387
- Totale Streulichtmessung (TS) gemäß ISO 13696
- Überdeckung des gesamten 3D-Raums,
- Höchste Sensitivität (Dynamikbereich bis 15 Größenordnungen, Untergrund < 0,05 ppm)
- Rauheitsbestimmung bis 0,1 nm
- Verknüpfung verschiedener Messmodi (BRDF, ARS, R, T, Gittereffizienz, 2 Theta etc.)
- Extrem ausgedehnter Wellenlängenbereich (13,5 nm bis 10,6 µm)
- Oberflächen, - Grenzflächen- und Volumenstreuung
realisiert sind. Die Messsysteme bestimmen hinsichtlich Leistungsumfang und Leistungsparamtern den internationalen Stand.
Die folgende Tabelle gibt einen Überblick über die aktuell verfügbaren Wellenlängen und erreichten Dynamikbereiche und Sensitivitäten:
Spectral range |
wavelength |
Dynamic range |
Noise-equivalent ARS (sr-1) |
EUV |
13.5 nm |
7 |
10-4 (vacuum) |
DUV/VUV |
193 nm, 157 nm |
12 |
10-7 (vacuum) / 10-6 (N2 purge) |
UV-VIS |
325 nm, 405 nm, 442 nm, 532 nm, 633 nm, 650 nm, 690 nm, 700 nm, 780 nm |
up to 15 |
down to 10-8 |
NIR-IR |
808 nm, 850 nm, 1064 nm, 4.5 µm, 10.6 µm |
up to 10 |
down to 10-5 |