Streulichtmesssysteme für das VIS, UV und IR

Am Fraunhofer IOF wurde eine neue Generation von laserbasierten Messsystemen entwickelt, in denen exklusive Funktionen wie

  • Winkelaufgelöste Streulichtmessung (BRDF, ARS) gemäß ASTM E2387
  • Totale Streulichtmessung (TS) gemäß ISO 13696
  • Überdeckung des gesamten 3D-Raums,
  • Höchste Sensitivität (Dynamikbereich bis 15 Größenordnungen, Untergrund < 0,05 ppm)
  • Rauheitsbestimmung bis 0,1 nm
  • Verknüpfung verschiedener Messmodi (BRDF, ARS, R, T, Gittereffizienz, 2 Theta etc.)  
  • Extrem ausgedehnter Wellenlängenbereich (13,5 nm bis 10,6 µm)
  • Oberflächen, - Grenzflächen- und Volumenstreuung

realisiert sind. Die Messsysteme bestimmen hinsichtlich Leistungsumfang und Leistungsparamtern den internationalen Stand.

Die folgende Tabelle gibt einen Überblick über die aktuell verfügbaren Wellenlängen und erreichten Dynamikbereiche und Sensitivitäten:

Spectral range

wavelength

Dynamic range
(orders of magnitude)

Noise-equivalent ARS (sr-1)

EUV

13.5 nm

7

10-4 (vacuum)

DUV/VUV

193 nm, 157 nm

12

10-7 (vacuum) / 10-6 (N2 purge)

UV-VIS

325 nm, 405 nm, 442 nm, 532 nm, 633 nm, 650 nm, 690 nm, 700 nm, 780 nm

up to 15

down to 10-8

NIR-IR

808 nm, 850 nm, 1064 nm, 4.5 µm, 10.6 µm

up to 10

down to 10-5