Die im Fraunhofer IOF vorhandene Ultrapräzisions-Bearbeitungstechnik ist mit folgenden Systemen ausgerüstet:
- hydrostatisches Führungssystem
- luftgelagerte Spindeln
- Diamantwerkzeuge
Die Ultrapräzisions-Bearbeitungstechnik wird verwendet für die Herstellung von:
- Metalloptik
- Kunststoffoptik
- Abformwerkzeugen für Präzisionsreplika
Oberflächenrauhigkeiten im Nanometer-Bereich für Anwendungen der Nanotechnologie sind herstellbar.