Deutscher Zukunftspreis 2020 an Forscherteam von Fraunhofer IOF, ZEISS und TRUMPF.
Am 25. November 2020 übergab der Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier in einer feierlichen Zeremonie unter Pandemie-Beschränkungen den Deutschen Zukunftspreis 2020 an die Gewinner. Für ihr Projekt »EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter« zeichnete Steinmeier das Experten-Team um Dr. Sergiy Yulin, Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Dr. Peter Kürz, ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT), und Dr. Michael Kösters, TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing, mit seinem Preis für Technik und Innovation aus.