Die hervorragende technische Ausstattung in ihrer einzigartigen Bandbreite ist eine wesentliche Grundlage der erfolgreichen Forschungs- und Entwicklungsarbeit.
Von ultrapräzisen Diamantwerkzeugen über eine hochmoderne Elektronenstrahl-Lithographieanlage bis hin zur umfassenden Messtechnik verfügt das Fraunhofer IOF über exzellent ausgerüstete Labore auf einer Fläche von 3.830 m2. Hinzu kommen 1.115 m2 Reinraum (ISO Klasse 1 - ISO Klasse 7), eine mechanische Werkstatt und ein umfangreiches Versuchsfeld für Test- und Demonstrationszwecke.